三葉羅茨真空泵工藝原理分析
一、核心結(jié)構(gòu)設(shè)計
1、三葉轉(zhuǎn)子構(gòu)型
泵體內(nèi)配置一對180°對稱分布的三葉漸開線型轉(zhuǎn)子，葉峰與葉谷輪廓經(jīng)精密加工形成動態(tài)密封腔室。通過齒輪傳動實現(xiàn)反向同步旋轉(zhuǎn)，轉(zhuǎn)子與泵殼間保持0.1-0.8mm的非接觸間隙。
2、等容壓縮機制
轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)周期中，吸氣腔容積增大形成負壓吸入氣體，排氣腔容積縮小完成氣體壓縮與排出。此過程依賴轉(zhuǎn)子型線對腔室容積的精確控制，實現(xiàn)氣體定向輸送。
二、氣體輸送流程
1、吸氣階段
轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)至進氣口區(qū)域時，腔室容積擴張，氣體被吸入泵腔內(nèi)部。
2、壓縮階段
氣體隨轉(zhuǎn)子運動被封閉在動態(tài)腔室內(nèi)，因腔室容積逐漸減小產(chǎn)生等容壓縮效應(yīng)，但無傳統(tǒng)往復(fù)式壓縮機的內(nèi)壓縮過程。
3、排氣階段
轉(zhuǎn)子葉峰掠過排氣口時，壓縮氣體被推送至排氣端，同時排氣側(cè)高壓氣體部分反沖至封閉腔室，導(dǎo)致瞬時壓力升高后排出系統(tǒng)。
三、工藝特性
1、三葉型線優(yōu)勢
相較兩葉結(jié)構(gòu)，三葉轉(zhuǎn)子每轉(zhuǎn)完成三次吞吐循環(huán)，有效降低壓力脈動幅度達30%以上，顯著減少運行振動與噪聲。
2、無油潤滑工藝
轉(zhuǎn)子間及轉(zhuǎn)子-泵殼間隙通過精密數(shù)控加工保證，無需潤滑油介入，適用于潔凈度要求高的制藥、電子行業(yè)。
3、材料與加工工藝
轉(zhuǎn)子采用高強度合金鋼經(jīng)五軸聯(lián)動數(shù)控機床成型，表面硬化處理(如滲氮工藝)提升耐磨性，型線誤差控制在±5μm以內(nèi)。
四、輔助系統(tǒng)需求
需配置油封真空泵、水環(huán)泵等前級設(shè)備形成真空機組，以克服自身低壓縮比缺陷(通常壓縮比≤10)，實現(xiàn)10?¹~10³ Pa的中真空范圍。
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