螺桿真空泵是利用一對螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備，它是油封式真空泵的更新換代產品，能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場合，在國內制藥、化工、半導體等對清潔真空要求較高的企業領域得到廣泛應用。
 

　　國內外生產概況：
 

　　1、國內螺桿真空泵的企業，從2004年起便開始進行型線與結構性能方面的研究。在2007年國內干式螺桿真空泵的市場基本被國外廠家占據的時候，國內公司投入大量資金將該產品轉入批量化的生產，并得到國家的大力支持獲得各類省級科技獎項和資金。LG干式螺桿真空泵極限真空更高，消耗功率更低，具有節能，免維修等優點。它是油封式/噴射式/水環式真空泵的更新換代產品，在國內各大制藥和化工企業得到大量應用。針對不同工藝條件，其過流部件(即轉子和泵體等與氣體接觸的部分)均有防腐涂層，包括鎳磷涂層和PTFE兩種。
 

　　2、德國和日本公司在1999年底正式推出的螺桿式無油壓縮真空泵是一種專門為工業應用(非半導體應用)設計的干式泵，它是一種全新的設計，是專門用來解決工業應用中艱苦的真空問題，如粉塵、焦油等。此泵也是采用變螺距轉子，有內壓縮過程，泵腔內無軸承和密封，大大降低了故障率，泵腔內沒有內部閥門，因而耐粉塵和焦油能力強，此泵的螺桿采用內部中空冷卻，可以降低轉子溫度和熱變形，螺桿壽命長。